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三氟化氮

CAS 编号:7783-54-2   

UN 编号:2451   

EINECS 编号:7783-54-2

分子量:71.0019

外观:无色、无味

熔点:-206.79℃

沸点:-129.0℃

密度:2.96kg/m3

DOT 类:2.2 & 5.1

标签:不可燃气体、氧化剂

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包装规格


钢瓶规格

含量

钢瓶容量

阀门

重量

10L

DISS640

4kg

47L

DISS640

20kg

440L

DISS640

195kg




电子级三氟化氮99.99%


规格

99.99%

四氟化碳

≤40 ppm

氮气

≤10 ppm

氧气+氩气

≤5 ppm

一氧化碳

≤1 ppm

二氧化碳

≤3 ppm

一氧化二氮

≤3 ppm

六氟化硫

≤3 ppm

水分

≤1 ppm

氟化氢

≤1 ppm




电子级三氟化氮99.996%


规格

99.996%

四氟化碳

≤20 ppm

氮气

≤5 ppm

氧气+氩气

≤3 ppm

一氧化碳

≤1 ppm

二氧化碳

≤0.5 ppm

一氧化二氮

≤1 ppm

六氟化硫

≤2 ppm

水分

≤1 ppm

氟化氢

≤1 ppm




气体介绍


三氟化氮(nitrogen trifluoride),是一种无机化合物,化学式NF3,常温常压下为无色气体,不溶于水,是一种强氧化剂,是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体,还可用作高能燃料。

优势
注意事项
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