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电子气体

电子气体包括些什么

2016-04-27 11:20:38    出处:泰竽气体有限公司     浏览次数:
            半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分为纯气,高纯气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延,掺杂和蚀刻工艺;高纯气体主要用作稀释气和运载气。电子气体是特种气体的一个重要分支。电子气体按纯度等级和使用场合,可分为电子级,LSI(大规模集成电路)级,VLSI(超大规模集成电路)级和ULSI(特大规模集成电路)级。    
            近几年来,智研数据研究中心随着我国超大规模集成电路、平板显示器、光伏发电等产业的迅速发展,电子气体市场需求量明显增长,电子特种气体的国产化已是大势所趋。据了解,我国在国产化方面取得可喜进展:国产高纯氨改变了国外气体公司垄断市场的格局,高纯四氟化碳“有价无货”时代也宣告结束,高纯氯化氢已成功打开国内市场。
       
电子气体主要包括:锗烷、乙硼烷、乙硅烷、溴化氢、硒化氢、四氯化硅、四氟化碳、砷化三氢、三氯氢硅、三氯化硼、三氟甲烷、三氟化氮、氯气、氯化氢、六氟乙烷、六氟化钨、六氟化硫、硫化氢、磷烷、硅烷、氟化氢、氘气、氨气、电子级笑气等.
其中六氟化硫、电子级笑气、硫化氢、磷烷使用较多。


电子气体安全日趋严格:
     电子气体可能存在窒息性、腐蚀性、毒性、易燃易爆性等危险,其危害性被不同国家区域和不同的工业组织进行了详细的危险等级分类。对于一个大规模量产的电子工厂,其使用和存储的电子气体数量之多可以毫不夸张地被视为拥有“大规模杀伤性”武器库。任何设计上、施工中、日常运行里存在的安全隐患都会对工厂、人员和环境带来巨大的灾难。
如何保证电子气体的安全储存、使用操作,系统的工艺和产品本征安全设计,在众多的国际标准规范如SEMI,NFPA,CGA,FM等都有很详细的规定,目前中国国内也正在起草针对电子特种气体的国家标准规范。通常而言,会根据气体性质和相容性,将气体房分成可燃气体房、腐蚀性气体房、惰性气体房、硅烷气体房、三氟化氯气体房等。气体房规划需要考虑建筑物的防火、泄爆、防火防爆间距、危险物总量控制等等。针对硅烷输送系统,特别是BSGS系统,因总量较大,应采用隔离式建筑。气体房和气柜应采用自动喷淋系统。而三氟化氯遇水反应,需要采用二氧化碳灭火系统。
使用电子气体的工厂抽风系统也根据危险品性质分成了普通排风系统(GEX),酸性排风系统(SEX),溶剂排风系统(VEX)和氨气排风系统(AEX)。换钢瓶时的吹扫尾气,也建议排放至尾气处理器中。
输送管道一般采用无缝SS316L EP管。施工采用自动轨道焊接,经保压、氦检漏和纯度测试。对于剧毒、高反应性和自燃气体,应使用双套管输送。一些剧毒气体如磷烷、砷烷等,安全输送系统(SDS)正在被广泛使用。其钢瓶内采用负压吸附的方式,用真空法输送,从根本上避免了气体的泄漏。
气体侦测系统(GDS)是全厂生命安全系统(LSS)的重要组成部分。对于侦测器的要求,除了精度高,反应迅速外,还应具备自检功能。
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