气体激光器的重要特点之一，激光工作物质是混合气或单一纯气体因此，对激光混合气组分的纯度有着特殊要求，包装混合气的钢瓶，充装前也必须进行干燥处理，防止污染混合气。如果将氦（He）氖（Ne）激光作为第一代气体激光，二氧化碳激光是第二代气体激光，在半导体制造领域将大量使用的氟化氪（KrF）激光，可称为第三代激光。
| 类别 | 混合气组成/(10-2) | 用途 | ||||||||||
| H2 | Ne | Ar | N2 | CO2 | Kr | F | Xe | CO | HCl | 平衡气 | ||
| 氦氖激光混合气 | 2～8.3 | He | 用于工业生产，科学研究和国防建设等领域 | |||||||||
| CO2激光混合气 | 0.4 | 13.5 13.0 8.0 6.0 16.0 8～12 |
4.5 7.0 8.0 8.0 16.0 6～8 |
2.0 4.0 2.0 4.0 |
He He He He He He |
主要用于激光加工，如金属、陶瓷的切割、焊接与钻孔以及医疗上的激光外科等 | ||||||
| 氪氟激光混合气 | 5.0 | 10.0 1～0.2 |
He He |
用于保护膜导光以及化学反应等领域。贮存器制造中的石板印刷已开始使用氟化氪激光 | ||||||||
| 密封束激光气 | 18.5 | 3 | 2.5 | He | 做研究用的密封束激光气 | |||||||
| 准分子激光气 | 25.8 | 9.8 | 0.004 | 1 5 0.2 |
5.0 | Ar He He Ar |
准分子激光器用于医疗上的外科手术 | |||||
作用范围
H2NeArN2CO2KrFXeCOHCL平衡气 氦-氖激光混合气
1. 2.0-8.3 He用于工业生产、科学研究和国防建设等领域 二氧化碳激光混合气
2. 0.4 13.5 13.0 8.0 6.0 16.0 8-124.5 7.0 8.0 8.0 16.0 6-8 2.0 4.0 4 He He He He He He主要用于激光加工、如金属、陶瓷的切割、焊接与钻孔以及医疗上用的激光外科等 氪-氟激光混合气
3. 510 1-1.2 He He用于保护膜暴光以及化学反应等领域。贮存器制造中的石板印刷已开始使用氟化氪激光 密封束激光混合气 。
4. 18.5 32.5 H2作研究用的密封激光器 准分子激光混合气
5. 25.89.80.004 1 5 0.2 5Ar He He Ar准分子激光器用于医疗上的外科手术
