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电子混合气体
产品分类: 混合气体
包装:4-40L

发货:全国

生产地:四川
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序号 泰竽特气电子混合气体汇总
1 二氯硅烷(DCS)5000ppm + N2; 二氯硅烷(DCS) 15ppm + N2 
2 二氯硅烷(DCS)10 ppm + 三氯硅烷(TCS)10 ppm + 氦
3 HCl 50ppm + 二氯硅烷(DCS)1000ppm + 平衡He
4 硅烷1% + 二氯硅烷(DCS)1% + 三氯硅烷(TCS)1% + 四氯化硅1% +氮 
5 硅烷50ppm + 三氯硅烷(TCS)1000ppm + He
6 三氯硅烷(TCS) 15ppm + N2
7 乙硅烷(Si2H4) 100ppm ~ 200ppm + H2
8 乙硅烷 10ppm + He
9 CO2 5ppm + 硅烷135ppm + 乙硅烷 1000ppm + He
10 SiH4 5ppm ~ 15%+Ar(H2/N2/He)
11 H2 5ppm + Ar 5ppm +N2 5ppm +CO 5ppm + 
CH4 5ppm + CO2 5ppm + 硅烷 1000ppm 的平衡He
12 乙硼烷 50~100ppm + H2
13 砷烷 100ppm~0.7% + H2
14 锗烷 1%~10% + H2
15 三氯化硼1%~5% + N2(He)
16 PH3 0.8ppm ~ 500ppm + He(H2)
17 HCl 9ppm~50% + N2
18 NF3 99.99% 180g~1500g
19 NF3 20ppm~30ppm + Air
20 NF3 15ppm + N2
21 CF4 80% + O2
22 Ar 5ppm~80% + Ne(H2/He/N2)
23 Kr 8%~50% + Ar
24 Ne 80%~97% + Ar
 
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