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磷烷
产品分类: 电子气体
磷烷 纯度:99.9997%
 中文名:磷烷
 中文别名:磷化氢
 英文名:phosphine
 英文别名:GAS EX-B; hydrogen phosphide; Phosphine? phosphorated hydrogen;
phosphorus hydride; Phosphorus trihydride
 CAS 注册号:7803-51-2
 分子量:34.0
 分 子 式:PH3 
 分 子 量:34.04   
 毒 性:剧毒
 摩尔质量:146.05
 CAS 登录号:2551-62-4 
 外观与性状:无色气体,有蒜臭味
 性质:无色,剧毒,易燃烧气体,带有令人生厌的大蒜味。应用于多种化学反应中
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产品详情
在电子气家族中,硅烷、磷烷、硼烷、砷烷应用量较大,是IC制造极为重要的原料。
其中的磷烷是半导体器件制造中的重要 N型掺杂源,同时 磷烷还用于多晶硅化学气相沉淀、外延 Ga P材料、离子注人工艺、MO C V D工艺、磷硅玻璃(PSG)钝化膜制备等工艺中。
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