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三氟化氮
产品分类: 特种气体
熔点(101.325kPa):-206.79℃
沸点(101.325kPa):-129.0℃
液体密度(-129℃,101.325kPa):1540kg/m3
气体密度(20℃,101.325kPa):2.96kg/m3相对密度(气体,空气=1,20℃,101.325kPa):2.46
比容(21.1℃,101.325kPa):0.3371m3
气液容积比(15℃,100kPa):520L/L
临界温度:-39.3℃
临界压力:4530kPa
临界密度:522kg/m3
临界压缩系数:0.317
熔化热(-206.79℃,101.325kPa):5.61kJ
气化热(-129℃,101.325kPa):163.29kJ
比热容(气体,25℃,101.325kPa):Cp=751.68J/(kg·K)
蒸气压(-171℃):1.333kPa
(-100℃):470kPa
(-60℃):2200kPa粘度(气体,25℃,101.325kPa):0.0183mPa·S
折射率(气体,25℃):1.0004416
主要成分:纯品
外观与性状:无色、带霉味的气体。
相对密度(水=1):1.89(沸点,液体)
溶解性:不溶于水。
主要用途:用作高能燃料。
废弃处置方法:根据国家和地方有关法规的要求处置。或与厂商或制造商联系,确定处置方法
三氟化氮,分子式:NF<sub>3</sub>。气体分子量:71.01,熔点:–206.8℃(1atm),沸点:–129℃(1atm),临界温度:–39.3℃,临界压力:44.02a
三氟化氮tm(4.46MPa),液体密度:1554 kg/m<sup>3</sup>(1atm,沸点时),气体密度:2.95 kg/m(1atm,21℃),水中溶解度(1atm,22℃):1.43×10-5当量浓度。纯净的NF3气体是一种无色无味的气体,当混入一定量的杂质气体后颜色发黄,同时会有发霉或刺激性气味。NF3气体不可燃,但能助燃。当温度超过350℃时,三氟化氮气体会缓慢分解,分解时产生强氧化性氟。因此,在高温下它是一种强氧化剂。CAS号:7783-54-2。危险性类别:第2.3类有毒气体,在空气中的最高允许含量为29mg/m

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产品详情
用途
       三氟化氮主要用途是用作氟化氢-氟化气高能化学激光器的氟源,在h2-O2 与F2之间反应能的有效部分(约25%)可以以激光辐射释放出,所 HF-OF激光器是化学激光器中最有希望的激光器。三氟化氮是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体,对硅和氮化硅蚀刻,采用三氟化氮比四氟化碳和四氟化碳与氧气的混合气体有更高的蚀刻速率和选择性,而且对表面无污染,尤其是在厚度小于1.5um的集成电路材料的蚀刻中,三氟化氮具有非常优异的蚀刻速率和选择性,在被蚀刻物表面不留任何残留物,同时也是非常良好的清洗剂。随着纳米技术的发展和电子工业大规模的发展技术,它的需求量将日益增加。

运输信息

危险货物编号: 23016 UN编号: 2451
包装类别: Z01
运输注意事项: 铁路运输时须报铁路局进行试运,试运期为两年。试运结束后,写出试运报告,报铁道部正式公布运输条件。采用刚瓶运输时必须戴好钢瓶上的安全帽。钢瓶一般平放,并应将瓶口朝同一方向,不可交叉;高度不得超过车辆的防护栏板,并用三角木垫卡牢,防止滚动。严禁与易燃物或可燃物、还原剂、食用化学品等混装混运。夏季应早晚运输,防止日光曝晒。公路运输时要按规定路线行驶,禁止在居民区和人口稠密区停留。铁路运输时要禁止溜放。
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